Oferta pracowni
Pracownia mikroskopii wyposażona jest w mikroskop sił atomowych, skaningowe mikroskopy elektronowe oraz mikroskopy optyczne, dzięki czemu możliwe jest:
- obrazowanie powierzchni w skali mikro oraz nano, pomiar chropowatości, pomiar właściwości elektrycznych oraz magnetycznych,
- pomiar grubości warstwy (AFM),
- obrazowanie powierzchni metali, półprzewodników, izolatorów, ceramiki, polimerów oraz materiałów biologicznych,
- określenie wielkości ziaren proszków, analiza składu pierwiastkowego lokalnie i w formie map (EDS/SEM),
- wytwarzanie nanostruktur metodą FIB (ang. focused ion beam), elektronolitografia z rozdzielczością nanometryczną,
- wyznaczanie twardości oraz modułu elastyczności niewielkich obiektów oraz cienkich warstw (od 1 µm),
- wykonywanie statycznych prób rozciągania submikronowych i mikronowych włókien (nanomaszyna wytrzymałościowa),
- obrazowanie w świetle odbitym i przechodzącym, pomiary wielkości obiektów, pomiar chropowatości (mikroskopy optyczne).
Nanotechnologia
- nanoszenie warstw ochronnych (przewodzących i izolujących) w warunkach wysokiej próżni,
- projektowanie i przygotowanie ścieżek/kontaktów,
- wytwarzanie anten do wzbudzeń mikrofalowych i absorberów Thz,
- modyfikacja właściwości magnetycznych przy użyciu jonów Ga+,
- tworzenie masek do procesów fotolitograficznych,
- wytwarzanie matryc złączy Schottkiego.
Opiekunowie pracowni
dr Ewelina Gacka
ek77352@amu.edu.pl
dr inż. Marek Nowicki
nowickim@amu.edu.pl
Dostępna Aparatura
Mikroskop sił atomowych AFM (AFM 5500, Agilent)
- pomiary AFM/STM w atmosferze powietrza, w cieczy, w gazie ochronnym,
- pomiary w zmiennej temperaturze próbki (od –20 do 200°C),
- pomiary statyczne i dynamiczne,
- mapowanie właściwości powierzchni (elektrycznych, mechanicznych, magnetycznych),
- wyznaczenie potencjału powierzchniowego,
- wielkość obszaru skanowania do 90 mikrometrów,
- subnanometrowa zdolność rozdzielcza w kierunku osi x, y, z,
- badania ciał w postaci materiałów litych lub cienkich warstw, metale, ceramiki, polimery, układy biologiczne,
- obrazowanie nanostruktur,
- określenie średnicy porów na powierzchni materiału,
- analiza chropowatości powierzchni,
- pomiar wysokości mikro i nanostruktur powierzchniowych,
- analiza wielkości wytrąceń na powierzchni materiału,
- badanie wpływu procesów elektrochemicznych na strukturę powierzchni, w tym odporności na korozję.
Wysokorozdzielczy środowiskowy skaningowy mikroskop elektronowy (SEM Quanta FEG 250 FEI aktualnie ThermoFisherScientific)
- tryb wysokiej próżni, niskiej próżni, środowiskowy,
- analizator EDS (EDAX),
- analiza ilościowa i mapowania składu chemicznego próbki,
- analizator WDS LEXS (EDAX) – tylko próbki przewodzące elektrycznie,
- modularny system napylania próżniowego (kombinacja systemu napylania metalami i węglem) Q15OT ES,
- obrazowanie proszków, materiałów litych (rozmiar od mm do cm), cienkich warstw, metali, ceramiki, polimerów, obiektów biologicznych,
- określenie wielkości ziaren proszków,
- określenie jednorodności materiału.
Mikroskop polaryzacyjny (Olympus BX-52)
- obserwacje w świetle odbitym i przechodzącym,
- pełna polaryzacja,
- pomiary XY,
- kamera do rejestracji obrazu,
- obiektyw do 100×,
- identyfikacja materiałów izotropowych i anizotropowych, cienkich folii polimerowych,
- identyfikacja cząsteczek,
- statystyka rozmiarów obiektów na powierzchni próbki.
Mikroskop laserowy (Olympus LEXT OLS 4100)
- obserwacje i pomiary struktur powierzchniowych w świetle odbitym,
- analiza chropowatości, przekroje,
- obrazy 3D,
- polaryzacja,
- źródło światła: laser półprzewodnikowy 405 nm,
- całkowite powiększenie 108× – 17280×,
- rozdzielczość pomiaru wysokości 10 nm, rozdzielczość x-y 120 nm.
Nanoindenter (Agilent G200)
- zmiana temperatury in situ od pokojowej do 250°C,
- standardowa głowica pomiarowa: maksymalna siła 500 mN, rozdzielczość siły 50 nN,
- rozdzielczość przemieszczenia 0,01 nm,
- głowica DCMII: maksymalna siła 30 mN, rozdzielczość siły 3 nN, rozdzielczość przemieszczenia 0,0002 nm,
- test na zarysowanie,
- określenie właściwości mechanicznych (moduł elastyczności, tarcie, twardość) dowolnych materiałów,
- mapowanie właściwości mechanicznych,
- skanowanie powierzchni przed i po badaniu.
Nanozrywarka (Agilent T150)
- maksymalna siła 500 mN,
- rozdzielczość sił 50 nN,
- rozdzielczość przemieszczenia 0,01 nm,
- maksymalne rozciąganie 200 nm,
- statyczne próby rozciągania submikronowych i mikronowych włókien.
Nanotechnologia
System do trawienia jonowego i nanoszenia warstw (Microsystems IonSys 500)
- trawienie jonowe za pomocą działa jonowego,
- nakładanie warstw metalicznych przy użyciu źródła magnetronowego,
- średnica próbki do 150 mm.
Urządzenie fotolitograficzne (MicroWriter ML®3, Durham Magneto Optics)
- bezmaskowe,
- tworzenie prototypów w laboratoriach badawczo rozwojowych i clean roomach,
- rozdzielczość: 700 nm,
- rozmiar próbki: 1 mm – 200 mm,
- prędkość zapisu do 180 mm2/min,
- długość fali lasera naświetlającego: 405 nm.
Spin-coater (SM-180 Sawatec), płyta grzejna (HP-200 Sawatec)
Skaningowy mikroskop elektronowy ze zogniskowaną wiązką jonów (FEI Helios Nanolab 660)
- subnanometrowa zdolność rozdzielcza,
- napięcie przyspieszające od 500 V do 30 kV,
- detektory wewnątrzkolumnowe,
- szybkie i precyzyjne trawienie,
- osadzanie cząstek o średnicy 50 nm,
- system dozowania gazu,
- osadzanie Pt, osadzanie izolatora, trawienie węgla,
- analiza EDS.
